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透明导电膜功能指标的相关分析
2020-05-06
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目前常见的透明导电膜包括ITO（Indium Tin Oxides锡掺杂三氧化铟）、GZO（Gallium Zinc Oxides镓掺杂氧化锌）、AZO(Aluminum Zinc Oxides铝掺杂氧化锌)等，这些氧化物只吸收紫外光，不吸收可见光，是“透明”的导电膜。
以目前透明导电膜的主流材料——ITO导电膜为例，影响ITO薄膜导电功能的几个要素包含：ITO薄膜的面电阻（γ）、膜厚（d）和电阻率（ρ），这三者之间的相互关系是：γ=ρ/d，即为了取得不同面电阻的ITO薄膜，实际上就是要取得不同的膜厚和电阻率。
从上述公式可以看到，ITO薄膜的导电性要好（即面电阻值要低），在电阻率必定的情况下（电阻率是制备工艺的要害，难度较大），膜厚要添加，这样会导致ITO薄膜的透光功能下降，反之亦然。
所以，ITO薄膜电阻率的巨细是ITO薄膜制备工艺的要害，要取得好的透光度和导电性，就需要尽量小的电阻率（ρ）。
影响电阻率（ρ）大小的要素主要包含载流子浓度、载流子迁移率等，载流子浓度或载流子迁移率越大，薄膜的电阻率就越小。
在操控条件上，载流子浓度可以通过调理ITO堆积资料的锡含量和氧含量来完成，而载流子迁移率则与ITO薄膜的结晶状态、晶体结构等相关，可以通过调理薄膜堆积时的堆积温度、溅射电压和成膜条件等来完成。
以上就是小编对于透明导电膜透光度和导电性功能指标的分析，希望对大家有所帮助。
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